金属及工程材料的离子注入处理

G.Dearnaley; 张学金

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＜正＞前言本文叙述一种目前已在若干重要领域达到工业应用阶段的崭新的金属表面处理方法,即离子注入法。运用这种方法,可将某些经过选择的原子以高能离子束的形式注入工件表面。迄今,这种方法因其对于改变半导体（如硅）的导电性能较之热扩散法更易于控制,已应用于半导体器件的制造。目前,全世界用于这一目的的离子注入机大约有500台。产品则为大家

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来源
《包装工程》 |1979年第2期|27-36|共10页
作者
G.Dearnaley; 张学金;
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