半导体晶圆厂房的微震控制技术

王晋元

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半导体晶圆厂房的微震控制技术

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半导体厂房中的主体核心——洁净厂房对微震环境控制要求最高,相关厂房的工艺生产需要在温度、湿度恒定及空气洁净度极高的环境下进行。一旦出现微震动,就很可能导致产线出现偏差,其产品良率也会因此受影响。为此,文章针对半导体晶圆厂房中对于洁净厂房的特殊要求进行阐述,并结合某半导体项目从其厂房的高标准要求及微震控制技术方面着手,分析如何在高标准下保证抗微震的措施到位,保证半导体晶圆厂房的各项动力指标、生产环境能满足工厂严格的生产需要,综合论述微震测试设备、分析软件在半导体洁净厂房中结构数据收集和整理计算的应用分析以及厂房管道上减震具体措施的应用,以具体数据及实施方法对微震控制在半导体厂房中的重要性进行研讨。

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来源
《中阿科技论坛(中英文)》 |2020年第10期|P.112-114|共3页
作者
王晋元;
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作者单位

信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司江苏无锡214000;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类耐震、隔震、防爆结构;
关键词
晶圆半导体; 洁净厂房; 微震控制技术;

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