一种新型力平衡扭摆式硅MEMS角加速度传感器

李建利; 房建成; 盛蔚

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一种新型力平衡扭摆式硅MEMS角加速度传感器

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在很多控制、监测和导航系统中,不仅需要角位移和角速度信息,同时还需要角加速度信息,为了测量角加速度信息,首次提出了一种力平衡扭摆式硅MEMS角加速度传感器,采用具有大扭转惯量的扭摆式活动极板作为敏感元件,长方形金属电极板作为电容式变换器,静电力实现力平衡反馈回路,文中介绍了扭摆式硅MEMS角加速度传感器的结构及原理,详细推导出传感器的动力学方程和灵敏度,仿真结果验证了理论模型的正确性,传感器灵敏度达到0.388 9 V.(r.s-1)-1。该传感器具有体积小、质量轻、功耗小、零偏稳定性好、噪声小等优点。

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来源
《仪器仪表学报》 |2008年第1期|73-78|共6页
作者
李建利; 房建成; 盛蔚;
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作者单位

北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类导航设备;导航仪表及传感器;
关键词
MEMS; 角加速度传感器; 扭摆式; 静电力反馈; 电容式变换器;

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