利用莫尔条纹测量物体三维形貌新方法研究

段存丽; 陈芳; 祁瑞利; 张苏娟

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利用莫尔条纹测量物体三维形貌新方法研究

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提出了以计算机控制光栅产生莫尔条纹来测量物体三维形貌的新方法.利用计算机控制空间光调制器(Space Light Modulator,SLM)产生可控制幅度及位相的理想光栅,将平行光波投影到待测物体上,其反射光通过参考光栅形成莫尔条纹,利用CCD接收并进行数字图像处理,恢复出待测物体的三维形貌.对此方法进行了理论分析,推导了变形莫尔条纹与待测物形貌变化的关系式.利用MATLAB对此关系式进行仿真计算,其准确度可达0.011μm.

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来源
《光子学报》 |2008年第7期|1425-1428|共4页
作者
段存丽; 陈芳; 祁瑞利; 张苏娟;
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作者单位

西安工业大学光电工程学院;

西安710032;

西北大学光子学与光电子技术研究所;

西安710069;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光检测技术;
关键词
信息光学; 三维形貌测量; 莫尔条纹; 空间光调制器; MATLAB计算仿真;

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