基于共面波导微带线的光探测器高频电参量提取(英文)

徐光辉; 柴广跃; 黄长统; 何黎明; 徐健; 廖世东; 冯丹华

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基于共面波导微带线的光探测器高频电参量提取(英文)

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针对不能在片测量的光探测器芯片,本文提出了一个简单而有效的实验方案来提取其等效电路模型的高频电参量.首先设计了和微波探针匹配的共面波导微带线,测量其输出反射系数,测试结果与理论设计符合很好;然后将芯片装载到微带线上,测量包含光探测器的整个测试结构的输出反射系数.仿真中涉及光探测器测试结构的等效电路模型,包含光探测器、键合金丝和共面波导微带线等因素.通过拟合已测的整个测试结构的输出反射系数,提取了光探测器的高频电参量.

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来源
《光子学报》 |2013年第2期|132-134|共3页
作者
徐光辉; 柴广跃; 黄长统; 何黎明; 徐健; 廖世东; 冯丹华;
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作者单位

深圳大学光电子器件与系统教育部重点实验室;

广东深圳518060;

昂纳光通信(集团)有限公司;

广东深圳518057;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光学;
关键词
光探测器; 共面波导微带线; 等效电路模型; 参量提取;

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