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氢化非晶硅在器件表面钝化工艺上的应用

         

摘要

氢化非晶硅具有半绝缘、富含氢和电中性等特点。本文概述了非晶硅的表面钝化工艺及其钝化效果,对其钝化机理也进行了讨论.

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