计及毛细力作用时旋转式MEMS/NEMS致动器的吸合稳定性

周丽军; 郭建刚; 亢一澜

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计及毛细力作用时旋转式MEMS/NEMS致动器的吸合稳定性

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建立旋转式MEMS/NEMS(micro-or nano-electro-mechanical system)致动器的单自由度力学模型,研究毛细力对该类致动器吸合时的临界倾角以及临界电压的影响。得到临界倾角随结构特征尺寸的变化曲线,并对临界电压进行修正。研究没有外加电压引起的静电力作用时,旋转式MEMS/NEMS致动器在毛细力作用下的失稳现象,给出致动器的失稳准则,以及失稳时致动器的临界特征几何尺度。

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来源
《机械强度》 |2009年第3期|391-395|共5页
作者
周丽军; 郭建刚; 亢一澜;
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作者单位

天津工程师范学院机械系;

天津大学力学系;

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正文语种 chi
中图分类结构、器件;稳定性理论;
关键词
微/纳电子机械系统致动器; 吸合; 稳定性; 毛细力;

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