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物理气相沉积TiN多元涂层和多层涂层的研究进展

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摘要

综述了近年来物理气相沉积TiN多元涂层和多层涂层的研究 ,并指出通过合理的多元和多层涂层设计 ,TiN多元涂层和多层涂层能克服单一TiN涂层的不足 ,综合不同组元和不同单层的优势 ,从而获得优良的结合强度、硬度、耐磨性和高温性能。

著录项

来源
《材料保护》 |2001年第10期|24-27|共4页
作者
胡树兵; 崔崑;
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作者单位

华中科技大学材料科学与工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜技术;
关键词
氧化钛; 物理气相沉积; 多元涂层; 多层涂层; 研究进展;

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