基于光学和扫描显微平台的微尺度实验力学检测技术和装置研究

李喜德; 杨燕; 魏成; 彭云; 张钊

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基于光学和扫描显微平台的微尺度实验力学检测技术和装置研究

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本文基于光学和扫描显微平台,介绍了本研究组在微尺度实验力学检测技术和设备方面的最新研究成果。在检测技术方面涉及显微散斑干涉技术、微标记阵列检测技术、晶粒变形分析技术、光学探针动静态变形分析技术;在检测系统和装置方面介绍了新近开发的双视场薄膜检测系统、散斑微干涉系统、微标记检测平台、AFM和SEM单轴拉伸装置、三维微定位与加载系统、微力传感器及其标定装置、微动平台驱动装置等。探讨了微尺度实验力学检测中的问题和新的检测技术,给出了一些典型的应用和相关装置。

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来源
《实验力学》 |2006年第4期|427-438|共12页
作者
李喜德; 杨燕; 魏成; 彭云; 张钊;
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作者单位

清华大学工程力学系FML;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光检测技术;信息光学;
关键词
微光学干涉; 扫描显微镜; 变形测量; 微尺度对象; 动态测试; 力学性能;

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