一种基于谐振原理的微型压力传感器设计

林丙涛; 李海; 蒋昭兴; 董宏奎; 赵建华; 张巧云

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一种基于谐振原理的微型压力传感器设计

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设计了一种结构简单的微型石英谐振式压力传感器,该传感器芯片由力学转换元件、谐振敏感元件和支撑元件3部分构成。仿真分析了压力100kPa内传感器输出频率与输入压力的关系,经线性拟合后得出其最大相对非线性误差为0.09%。采用石英深槽湿法腐蚀的方法加工出了芯片3个元件结构,并经镀膜及键合等后工序制作出了传感器芯片,其性能实测值与仿真结果基本吻合,验证了结构及工艺方案的可行性。

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来源
《压电与声光》 |2014年第2期|159-161|共3页
作者
林丙涛; 李海; 蒋昭兴; 董宏奎; 赵建华; 张巧云;
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作者单位

中国电子科技集团公司第26研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
石英; 压力传感器; 谐振; 线性度; 键合;

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