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气相法同质外延金刚石单晶薄膜的研究

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本文以＜１００＞和＜１１１＞两种取向的金刚石为衬底，用微波ＰＣＶＤ法进行了同质外延实验，考察了衬底取向、反应气体、碳源浓度等因素对外延层形貌与结构的影响。

著录项

来源
《上海交通大学学报》 |1994年第3期|124-128|共5页
作者
张志明; 李胜华; 蔡琪玉; 何贤昶; 沈荷生;
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作者单位

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
金刚石薄膜; 同质外延; 气相法;

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