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赵慧洁;
北京航空航天大学;
外差干涉; 金属反射镜; 测量精度;
机译:注意:使用亚皮比计精度Fabry-Perot干涉仪在外差干涉仪中进行定期误差测量
机译:激光外差干涉仪,使用单个参考后向反射镜同时测量位移和角度
机译:基于外差干涉仪的高精度侧倾角测量中相位波动的建模与分析
机译:非线性误差对使用偏振纤维进行二元频道外差干涉仪测量精度的影响
机译:紧凑型外差干涉仪,用于高精度位移测量
机译:基于外差干涉仪的高精度滚转角测量相位波动建模与分析
机译:具有亚埃精度的位移测量激光外差干涉仪
机译:影响测量精度的测量精度中的气体提取方法和装置
机译:用于高精度定位和测量放置在物体台上的物体的装置,例如用于制造半导体制造中的微结构,具有干涉仪模块和测量镜
机译:光学干涉仪中的干扰测量装置以及高精度光干涉测量装置
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