压电型微驱动器

         

摘要

提出了一种新的微纳米传动机构及其传动比的设计计算方法,并为实验所验证.介绍了一种亚微米量级的闭环测控系统,工作稳定可靠,测控精度高,为微驱动器的研制成功打下了坚实基础,确保其性能技术指标达到了设计要求.

著录项

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号