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SOI技术的现状及发展

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摘要

本文介绍了当前较为流行的几种SOI技术,着重评述了SIMOX和SDB技术的现状及其发展。讨论了采用这两种技术制造的SOI材料和器件的物理及电学特性,并与体硅技术做了相应比较。

著录项

来源
《微电子学与计算机》 |1992年第3期|40-44|共5页
作者
陈军宁; 童勤义;
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作者单位

东南大学微电子中心;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类制造、装配、改装;
关键词
绝缘体; SOI技术; SIMOX; SDB;

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