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高温氧化薄膜应力的测定

         

摘要

介绍一种高温氧化薄膜应力的测定技术,它能在一定高温氧化条件下原位测定氧化膜中的生长应力,在某一温度变化范围内原位测定氧化膜中的热应力.

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