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纳米金刚石膜——一种新的具有广阔应用前景的CVD金刚石

     

摘要

以氢气为主要反应气体生长的CVD金刚石膜的晶粒尺寸过大限制了它在某些领域的进一步应用。当晶粒组成降到纳米级时 ,金刚石膜会表现出许多优异的性能 ,具有广阔的应用前景。与通常的CVD法生长金刚石的工艺不同 ,氩气在纳米金刚石的生长过程中发挥着重要作用。

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