板片状Al_2O_3磨料对碲锌镉晶体机械研磨的影响

毛晓辰; 朱丽慧; 虞慧娴; 周昌鹤; 孙士文; 陈燕

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板片状Al_2O_3磨料对碲锌镉晶体机械研磨的影响

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采用具有不同形状特征的Al_2O_3磨料对CdZnTe晶片进行机械研磨,研究了磨粒形状、粒径对晶片的去除速率、研磨后晶片表面形貌的影响,并讨论了其影响机理。研究表明,多角形不规则磨粒易在晶片表面产生划痕,且易在磨盘与晶片之间发生滚动,导致去除速率下降。板片状磨粒因不易发生滚动,易形成二体磨粒以边缘凿削晶片表面的方式去除。棱角度较高的薄板片状磨粒有利于CZT晶片的机械研磨,且去除速率随粒径增大而增大,但当粒径较大时易形成深凹坑。表面圆润平滑的厚板片状磨粒对去除速率不利。粒径(D50)为3.34μm的薄板片状磨料既能得到较高的去除速率,也能保证研磨后晶片表面波纹度Wa值和凹坑面积占比较低,晶片表面质量好。

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来源
《人工晶体学报》 |2018年第2期|261-266|共6页
作者
毛晓辰; 朱丽慧; 虞慧娴; 周昌鹤; 孙士文; 陈燕;
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作者单位

上海大学材料科学与工程学院;

中国科学院红外成像材料与器件重点实验室;

中国铝业郑州有色金属研究院有限公司;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类表面精整加工、研磨、抛光;
关键词
CdZnTe晶体; 机械研磨; 板片状Al2O3磨料; 去除机理;

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