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基于事件驱动的集束型晶圆制造设备调度算法

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摘要

为了有效利用集束型晶圆制造设备,并使其满足动态到达晶圆调度要求,在描述调度问题域及引入时间约束集概念的基础上建立了调度问题的数学模型,根据模型提出了一种基于事件驱动的调度算法,调度目标是使到达晶圆在最短时间内完成加工.对调度算法进行了仿真实验分析.结果表明,该算法有效且实用.

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来源
《上海交通大学学报》 |2009年第6期|898-901|共4页
作者
李鑫; 周炳海; 陆志强;
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作者单位

上海交通大学动力机械与工程学院;

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正文语种 chi
中图分类计算机仿真;
关键词
集束型设备; 时间约束; 实时调度; 重入流; 仿真实验;

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