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软性光刻照相底版的反转冲洗法

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摘要

量具刻度光刻加工,通常选用硬性的玻璃照相底版控制曝光区域。近年来,因曲面光刻工艺需要,经常用感光胶片制成软性照相底版。为了保证刻度精度,首先用照相-真空镀铬法在玻璃上制成铬负版,再用感光胶片拷贝成软性正版。

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来源
《工具技术》 |1994年第1期|46-48|共3页
作者
黄光勋;
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作者单位

宁波量具一厂;

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正文语种 chi
中图分类特种材料底基的印相法;
关键词
光刻; 照相底板; 反转冲洗法;

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