高精度高刚度六自由度调整机构的设计及分析

贺磊; 韩哈斯敖其尔; 韩春杨; 贺帅; 陈立恒

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高精度高刚度六自由度调整机构的设计及分析

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设计一种基于Stewart构型的具有高精度和高刚度的六自由度精密调整机构。首先,对调整机构进行构型设计并作了运动学分析;接着,建立了误差模型并对构型进行了精度分析,包括精度分配及模特卡洛模拟法验证;之后,根据理论分析结果,对调整机构进行结构设计,主要包括单足位移促动器的设计和偏置铰链的设计;最后,对调整机构进行了刚度分析。本文的分析结果为此六自由度调整机构的重复定位精度为X、Y向±2μm,Z向±0.54μm,R_x,R_y,R_z方向±6.13μrad,横向振动基频为104.3 Hz,轴向刚度为61.3 N/μm。分析结果显示此六自由度精密调整机构满足设计要求,验证了调整机构结构设计的合理性。

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来源
《机械强度》 |2019年第3期|666-672|共7页
作者
贺磊; 韩哈斯敖其尔; 韩春杨; 贺帅; 陈立恒;
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作者单位

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;

中国科学院大学研究生院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类机械强度;
关键词
Stewart平台; 调整机构; 蒙特卡洛模拟; 刚度分析;

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