平板波导的溶胶-凝胶法制备与测试

张志林; 叶淼; 孙伟民

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平板波导的溶胶-凝胶法制备与测试

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利用溶胶-凝胶法制作了平板波导.实验中,在不同的条件下采用溶胶-凝胶法在玻璃衬底上制备出TiO2平板波导,分析了影响平板波导的因素,如溶胶-凝胶溶液的浓度、pH值,滴胶速度,热处理等.并对在不同工艺条件下的波导膜特性进行了测试,分析了影响波导膜质量的各个因素.实验表明,在控制实验条件的前提下溶胶-凝胶法在制作平板波导膜的工艺上制作方法简单,容易实现.

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来源
《光子学报》 |2009年第3期|561-565|共5页
作者
张志林; 叶淼; 孙伟民;
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作者单位

哈尔滨工程大学理学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的性质;
关键词
平板波导; 制作; 溶胶-凝胶;

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