一种基于随机森林的可寻址WAT良率诊断方法

刘元修; 史峥; 张培勇

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一种基于随机森林的可寻址WAT良率诊断方法

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WAT(Wafer Acceptance Test,晶圆允收测试)是晶圆在完成制造后必须通过的一项电学测试.本文提出了一种基于随机森林的良率诊断方法,使用随机森林算法对来自可寻址WAT的测试数据建立分类模型,并从中提取关键规则.提取出的规则集合可以帮助分析人员快速、准确地对生产中导致低良率的根本原因进行定位、分析,对于良率提升有着重要意义.在真实可寻址WAT测试数据集上应用本文提出的方法,得到的规则集合在分类性能上较基于决策树的方法有着更好的表现.

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来源
《微电子学与计算机》 |2019年第9期|94-98|共5页
作者
刘元修; 史峥; 张培勇;
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作者单位

浙江大学超大规模集成电路设计研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类信息处理（信息加工）;
关键词
晶圆允收测试; 良率提升; 随机森林; 规则提取;

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