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用稀土钇提高离子镀TiN膜层与基体结合力的研究

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研究了不同含量稀土钇对离子镀TiN膜与基体结合力的影响。结果表明，加入稀土钇后，大大提高TiN膜与基体的结合力，并使膜层内TiN相增加。此外，稀土钇能明显提高镀膜过程中钛料蒸发率，在相同镀膜时间内，能使TiN膜层加厚。

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来源
《金属热处理》 |1995年第2期|20-22|共3页
作者
冯正; 刘德浚; 王少刚;
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作者单位

南京航空航天大学;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类喷镀法;
关键词
钇; 离子镀; 结合力; 稀土族; 氮化钛; 薄膜;

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