基于最优化方法的光弹调制器光学模型验证

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• 来源
  《压电与声光》 |2021年第5期|661-665|共5页
• 作者

  何彤; 熊伟; 李超波;

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• 作者单位

  中国科学院大学微电子学院;

  北京100029;

  中国科学院微电子研究所;

  北京100039;

  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室;

  吉林长春130033;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 设计;光学计量仪器;
• 关键词

  光弹调制器; 高速椭偏测量方法; 最优化; 系统参数; 鲁棒性;