用于微结构探测的并行共焦光学结构的研究

刘文文; 余晓芬; 余卿; 毕美华

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用于微结构探测的并行共焦光学结构的研究

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基于菲涅尔衍射理论推导并行共聚焦系统的两种常用光路(显微与远心)的三维相干成像公式,发现两者在傍轴近似条件下并行探测能力没有明显区别,并且这一结果得到了实验证实。但是显微光路离轴探测光场在物面和图像面存在横向漂移,漂移随着离轴和离焦程度增加而增加,干扰了系统的轴向探测能力并且使正焦辨识过程复杂化,影响系统的测量效率;远心光路由于不存在探测光场的横向漂移,以及较好的结构可靠性使系统精度易于保证,应该成为构建并行共聚焦微结构探测系统的首选。

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来源
《仪器仪表学报》 |2009年第6期|1266-1270|共5页
作者
刘文文; 余晓芬; 余卿; 毕美华;
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作者单位

合肥工业大学仪器科学与光电工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类显微镜;
关键词
并行共聚焦; 3-D点扩散函数; 显微; 远心; 微结构;

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