动态测量光栅测长仪的位置误差

刘春山; 陈晓怀; 程真英

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动态测量光栅测长仪的位置误差

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介绍了一种光栅测量系统动态位置精度评定的方法,以现有的光栅测长仪为研究对象,高精度HP5529A双频激光干涉仪作为校准系统。利用光栅测长仪编码器产生的A-quad-B脉冲信号触发激光干涉仪进行同步动态数据采集,由激光干涉仪软件来获取和显示位置误差数据,并绘制更真实详细的动态误差图。最后对动态误差实验结果进行分析和讨论。

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来源
《工业计量》 |2005年第5期|10-12|共3页
作者
刘春山; 陈晓怀; 程真英;
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作者单位

合肥工业大学仪器仪表学院;

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正文语种 chi
中图分类 TM930.115;
关键词
光栅; 动态误差; A-quad-B脉冲; 激光干涉;

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