首页> 中文期刊> 《微电子学与计算机》 >集成化N沟MOS核心参数的Taurus Workbench优化

集成化N沟MOS核心参数的Taurus Workbench优化

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

首先介绍了集成电路TCAD虚拟工厂系统TaurusWorkbench,基于CMOS工艺的特点,在TaurusWorkbench环境下进行了深亚微米级N沟器件的核心参数优化,优化结果印证了新的工艺条件对器件特性的改善。

著录项

来源
《微电子学与计算机》 |2004年第6期|206-208|共3页
作者
侯国宪; 李惠军; 赵国庆;
展开▼
作者单位

河北理工学院;

山东大学信息科学与工程学院;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP339;
关键词
超大规模集成电路; 超深亚微米; 阈值电压; 仿真; 优化;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 基于Taurus Workbench的亚微米n沟MOS器件关键工艺参数的优化 [J] . 徐永勋 ,李惠军 . 微电子学 . 2003,第3期
2. 集成化NMOS核心工艺参数的Taurus Workbench优化 [J] . 李惠军 ,侯国宪 ,赵国庆 . 微纳电子技术 . 2004,第9期
3. 抑制亚微米NMOS穿通效应的Taurus WorkBench——TCAD优化 [J] . 李静 ,李惠军 . 半导体技术 . 2004,第9期
4. Taurus Workbench虚拟IC芯片加工系统 [J] . 徐永勋 ,李静 ,李惠军 . 半导体技术 . 2003,第5期
5. 基于ANSYS Workbench/LS-Dyna的马铃薯杀秧装置参数优化 [J] . 孙思宇 ,李瑞 ,杨明金 . 山东农业大学学报（自然科学版） . 2021,第005期
6. 基于集成化网络的变频器参数在线监控和优化 [C] . 吴乃优 ,王晓初 ,胡志刚 . 全国第四届低成本自动化学术会议 . 1999
7. 面向滚齿加工的集成化工艺参数优化决策支持系统研究 [A] . 陈诚 . 2018

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号