大面积VHF-PECVD用多点馈入平行板电极馈入点优化的数值研究

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• 来源
  《真空科学与技术学报》 |2008年第4期|281-285|共5页
• 作者

  葛洪; 张晓丹; 岳强; 张发荣; 赵影; 赵颖;

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• 作者单位

  南开大学光电子薄膜器件与技术研究所;

  南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室;

  光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学;

  天津大学);

  天津300071;

  天津新华职工大学;

  天津300040;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 电磁学;等离子体物理的应用;
• 关键词

  多点功率馈入; 甚高频等离子体增强化学气相沉积; 电势驻波效应; 电报效应;