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高速集成电路三维互连结构电容参数的多重网格法提取

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摘要

提出用多重网格矩量法计算高速集成电路中的三维互连结构的电容参数，用以提高三维互连结构参数提取时求解大型稠密满秩线性代数方程组的效率．给出了在均匀介质中正方体导体和双导体互连线的十字形交越的电容参数，计算结果与ＦＡＳＴＣＡＰ软件所得到的一致．

著录项

来源
《上海交通大学学报》 |1998年第4期|85-88|共4页
作者
郑戟; 李征帆;
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作者单位

上海交通大学电子工程系;

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正文语种 chi
中图分类微波混合集成电路（微波集成电路）;
关键词
高速集成电路; 三维互连结构; 多重网格; 电容参数;

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