溶胶-凝胶法制备高Mg含量Zn_(1-x)Mg_xO薄膜

李毛劝; 戴英

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采用溶胶-凝胶法在石英玻璃基板上制备了Zn_(1-x)Mg_xO薄膜,研究退火温度对高Mg含量Zn_(0.5)Mg_(0.5)O薄膜的相组成、相偏析及紫外-可见透过光谱中吸收边移动的影响,当退火温度≤500℃时,Zn_(0.5)Mg_(0.5)O薄膜未发生相偏析现象,且400℃退火处理制备的Zn_(0.5)Mg_(0.5)O薄膜的紫外-可见透过光谱中吸收边蓝移最大。因此,对于高Mg含量Zn_(0.5)Mg_(0.5)O薄膜,退火温度是影响Mg^(2+)在Zn O中固溶度的关键因素,且400℃是其理想的退火温度。在此条件下研究了不同Mg含量对Zn_(1-x)Mg_xO(x=0~0.8)薄膜带隙调节的影响,随着Mg含量的增加,其紫外-可见透过光谱中紫外光区吸收边呈现规律性蓝移,光学带隙值Eg从纯ZnO的3.3 eV调节至4.2 eV。

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来源
《人工晶体学报》 |2017年第11期|2228-2232|共5页
作者
李毛劝; 戴英;
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作者单位

武汉理工大学材料科学与工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜物理学;
关键词
Zn1-xMgxO薄膜; 溶胶-凝胶法; 带隙调节; 退火温度;

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