三甲胺N(CH_3)_3MIS传感器的研制

吴英才

首页> 中文期刊> 《广东海洋大学学报》 >三甲胺N(CH_3)_3MIS传感器的研制

三甲胺N(CH_3)_3MIS传感器的研制

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

研制探测鱼鲜度的传感元件。用含铟（In）杂质的TiO2材料作溅射靶，采用氩离子束镀膜机在硅片上镀膜，用常规蒸铝技术和光刻技术制成MIS结构。结果表明：在1MHz的测试频率下，当三甲胺浓度从0变化到0．1％时电容发生了250％的变化。在3V的偏压下，电流改变了450％。直接用鲜鱼测试时，在25h内该结构的电容和电流的响应很敏感，且接近线性关系。

著录项

来源
《广东海洋大学学报》 |1998年第3期|54-56|共3页
作者
吴英才;
展开▼
作者单位

湛江海洋大学工程学院;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 S985.11;TP212;
关键词
传感器; MIS结构; 三甲胺; 鱼鲜度; 鱼类;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 三甲胺N(CH3)3MIS传感器的研制 [J] . 吴英才 . 广东海洋大学学报 . 1998,第003期
2. 测量鱼鲜度的三甲胺［N（CH_3）_3］半导体金属氧化物传感元件的研制 [J] . 张忠孝 ,孟阿兰 ,李厚福 . 传感器技术 . 1995,第3期
3. WO3基三甲胺气敏传感器的研制 [J] . 葛丽颖 ,黄世震 ,王大伟 . 计测技术 . 2006,第0z1期
4. WO3基三甲胺气敏传感器的研制 [J] . 葛丽颖 ,黄世震 ,王大伟 . 计测技术 . 2006,第B09期
5. WO_3基三甲胺气敏传感器的研制 [J] . 葛丽颖 ,黄世震 ,王大伟 . 计测技术 . 2006,第B09期
6. WO3基三甲胺气敏传感器的研制 [C] . 葛丽颖 ,福建省微电子集成电路重点实验室 ,黄世震 . 第十一届全国湿度与水分测量技术学术交流会暨第九届全国气湿敏传感技术学术交流会 . 2006
7. 金掺杂氧化铟纳米膜三甲胺传感器的性能研究 [A] . 范东辉 . 2017

三甲胺N(CH_3)_3MIS传感器的研制

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅