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压电位移器位移速度的实时自动测量

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压电位移器位移速度的实时自动测量王文生（长春光学精密机械学院）０引言自动实时高精度地测量微位移速度一直是测试工作者探索的问题。接触式机械法虽然可以测微位移，但精度不高。干涉法虽然可以实现非接触、高精度，但不能测位移速度［１］。把电视摄相机（或ＣＣＤ摄...

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来源
《仪器仪表学报》 |1995年第4期|427-430|共4页
作者
王文生;
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作者单位

长春光学精密机械学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类物位测量仪表;
关键词
压电位移器; 位移速度; 实时自动测量;

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