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全硅集成光学──理论与工艺（Ⅵ）（续五）第六讲　全硅集成光学导波无源器件

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全硅集成光学──理论与工艺（Ⅵ）（续五）第六讲全硅集成光学导波无源器件赵策洲（副教授）（西安电子科技大学微电子所，西安７１００７１）１引言全硅集成光学导波无源器件包括硅定向耦合器、硅光栅耦合器、无间距定向耦合器、硅波导端接耦合器、光纤硅波导耦合器，以...

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来源
《半导体光电》 |1995年第3期|284-294|共11页
作者
赵策洲;
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作者单位

西安电子科技大学微电子所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类集成光学器件;耦合器、定向耦合器;
关键词
全硅集成光学; 导波无源器件; 耦合器;

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