衬底温度对电子束蒸发ZnS薄膜结构和光学特性的影响

付蕊; 化麒麟; 涂洁磊

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衬底温度对电子束蒸发ZnS薄膜结构和光学特性的影响

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采用电子束蒸发法在不同衬底温度下,150℃、200℃、250℃和300℃,制备了ZnS薄膜;用X射线衍射仪、原子力显微镜、膜厚仪和紫外-可见光-近红外分光光度计分别表征ZnS薄膜的晶体结构、表面形貌和光学特性;并分析了不同衬底温度对薄膜的结构和光学特性的影响。结果表明:在硅衬底上制备的ZnS都为多晶薄膜,具有闪锌矿β-ZnS结构;随衬底温度升高呈(111)晶面高度择优取向,平均晶粒尺寸有所增大,内应力、位错密度、折射率和吸收系数有所减小,禁带宽度随之增大;衬底温度为300℃时制备的薄膜表面均匀致密,呈现较优的结构和光学性能。

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来源
《人工晶体学报》 |2013年第7期|1366-1370|共5页
作者
付蕊; 化麒麟; 涂洁磊;
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作者单位

云南师范大学太阳能研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜物理学;
关键词
电子束蒸发; ZnS薄膜; 衬底温度; 微结构; 光学特性;

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