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薄膜内应力与温度特性的研究

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本文论述了薄膜应力快速测量系统中测温系统的设计原理及数据的处理方法，倒置了簿膜内应力与温度变化的关系曲线，从而计算出簿膜的热膨胀系数和复合弹性模量。

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来源
《微电子学与计算机》 |1997年第4期|5-7|共3页
作者
罗庆芳; 郭述文; 唐琳; 王兼善; 肖韶荣;
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作者单位

南昌大学物理系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜中的力学效应;
关键词
薄膜; 内应力; 温度特性; 力学性能;

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