HFCVD金刚石膜的形貌对红外透射率的影响

宋贵宏; 宫骏; 孙超; 黄荣芳; 闻立时

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HFCVD金刚石膜的形貌对红外透射率的影响

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本文测量HFCVD生长的金刚石膜的红外透射率。结果表明 ,膜中的缺陷、杂质和非金刚石相在透射谱中产生吸收带 ;膜表面的粗糙度和组织形貌对透射率有较大的影响。形核表面面对红外光源时 ,由于减少表面散射而透射率较高 ;定向或高取向膜的透射率高于混杂取向膜的透射率 ,表明晶格取向和晶界分布影响膜的透射性能。

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来源
《人工晶体学报》 |2000年第4期|390-393|共4页
作者
宋贵宏; 宫骏; 孙超; 黄荣芳; 闻立时;
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作者单位

中国科学院金属研究所;

沈阳工业大学材料工程系;

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正文语种 chi
中图分类 O614.71;
关键词
金刚石膜; 热丝化学气相沉积; 红外透射率; 晶体形貌;

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