横向电场激励的剪切波AlN薄膜体声波谐振器

陈达; 李德华; 宋宏伟; 王翠玲; 张玉萍

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横向电场激励的剪切波AlN薄膜体声波谐振器

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为了检测液体中的微量物质,研究了横向电场激励的剪切波固体装配型AlN薄膜体声波谐振器.器件以c轴择优取向的AlN薄膜作为压电层,电场由平行于压电薄膜表面的平行电极激发,三周期的1/4波长SiO2/W层交替排列构成了布拉格反射层.通过有限元分析计算了电场分布,设计了平行电极参数.结果表明:AlN薄膜具有良好的c轴择优取向,器件实现了稳定的2 GHz频率的单纯剪切波谐振,器件的品质因数Qs和Qp分别为434和393,等效机电耦合系数K2eff为0.97%,有效的横向电场激励和布拉格反射层的选频作用对纵波的抑制明显.这种谐振器非常有利于作为在液体环境中工作的生化传感器.

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来源
《上海交通大学学报》 |2011年第3期|327-330|共5页
作者
陈达; 李德华; 宋宏伟; 王翠玲; 张玉萍;
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作者单位

山东科技大学理学院应用物理系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类微波与超高频技术;铁电及压电器件;
关键词
薄膜体声波谐振器; 剪切波模式; AlN薄膜;

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