等离子体加工光学元件装置技术研究

著录项

• 来源
  《真空科学与技术学报》 |2007年第z1期|38-40|共3页
• 作者

  胡敏达; 杭凌侠; 刘卫国; 徐均琪; 梁海峰;

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• 作者单位

  西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室;

  西安;

  710032 西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室;

  西安;

  710032 西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室;

  西安;

  710032 西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室;

  西安;

  710032 西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室;

  西安;

  710032;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 TQ171.684;
• 关键词

  超光滑表面; 等离子体抛光; 加工平台; 等离子体源;