一种用于三维闪存测试的低成本PMU电路

张玺; 王颀; 童炜; 霍宗亮

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一种用于三维闪存测试的低成本PMU电路

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为了改善3D NAND测试机价格昂贵导致的闪存芯片成本过高的问题,提出了一种新的基于FPGA的用于3D NAND闪存芯片直流参数测试的低成本PMU(精密测量单元)电路.利用FPGA灵活的可编程特性,通过对ADC、DAC和继电器等分立元件工作的控制,实现了具有FVMI(加电压测电流)、FIMV(加电流测电压)等直流参数测试功能的PMU电路.该PMU电路已应用于YMTC自研3D NAND Flash测试平台,可以对3D NAND的直流参数进行准确测量,并且测试机台的成本只有大型ATE机台的0.175%,从而缓解了芯片测试成本过高的问题.

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来源
《微电子学与计算机》 |2020年第5期|1-5|共5页
作者
张玺; 王颀; 童炜; 霍宗亮;
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作者单位

中国科学院大学;

北京100049;

中国科学院微电子研究所;

北京100029;

长江存储科技有限责任公司;

湖北武汉430000;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类测试和检验;
关键词
3D NAND; FPGA; 直流参数测试; 精密测量单元;

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