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尹贤文;
电子工业部第24研究所;
LPCVD; 半绝缘多晶硅; 高压功率器件; SIPOS; 薄膜;
机译:半绝缘多晶硅薄膜生长的初始阶段
机译:半绝缘多晶硅薄膜中的氢
机译:直接在低温下通过催化化学气相沉积直接制备具有多晶硅层的薄膜晶体管的栅极绝缘体不均匀性
机译:在玻璃基板上低温制备薄膜多晶硅太阳能电池及其在a-Si:H /多晶硅串联太阳能电池中的应用
机译:低温多晶硅薄膜晶体管的制备与表征
机译:无裂缝和缩收的乙烯桥接多晶硅硅氧烷通过氢化硅烷化反应制备的薄膜
机译:硅化物增强快速热退火制备多晶硅薄膜及其在薄膜晶体管中的应用
机译:siO2上区域熔化 - 再结晶多晶硅薄膜制备的绝缘硅绝缘体
机译:通过掺杂制备3-5-5单晶并应用半绝缘半绝缘法制得。
机译:通过掺杂制备单晶半导体半绝缘体3-5的方法及所获得的半导体半绝缘体的应用
机译:制备多晶硅薄膜晶体管阵列基体的方法及应用液晶制造液晶显示器的方法
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