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尹博文; 杨艳; 马兵; 张伟刚;
中国科学院过程工程研究所多相复杂系统国家重点实验室;
化学气相沉积; β-SiC; 堇青石; 表征;
机译:低温热线化学气相沉积法沉积未掺杂,N型和P型氢化纳米晶碳化硅薄膜的表征
机译:在和不使用化学气相沉积氧化钴的情况下,粘土和堇青石蜂窝整体材料上的乙炔和丙烯催化完全氧化
机译:催化化学气相沉积作为氨合成的催化剂载体制备碳纳米管-堇青石整料
机译:基体偏压对螺旋波等离子体化学气相沉积中纳米晶碳化硅薄膜制备的影响
机译:通过聚合物源化学气相沉积合成的非晶碳化硅和碳氮化硅薄膜的表征。机械结构和金属界面性能
机译:堇青石基体上支撑层的沉积方式对MnO2-NiO-Co3O4 / Ce0.2Zr0.8O2 /堇青石三元催化剂性能的影响
机译:支撑层沉积方法对堇青石基体对mnO2-NiO-Co3O4 / Ce0.2Zr0.8O2 /堇青石三元催化剂性能的影响
机译:高效薄膜光伏器件的常压化学气相沉积和CdTe的气相沉积
机译:贵金属化合物薄膜和贵金属薄膜的化学气相沉积方法以及制备化学气相沉积的有机金属化合物和化学气相沉积的金属有机化合物的方法
机译:用于化学气相沉积的有机金属化合物,用于化学气相沉积的有机金属化合物的制备方法,新型金属薄膜和用于新型金属复合薄膜的化学气相沉积的方法
机译:化学气相沉积设备,化学气相沉积设备的指南成员以及使用化学气相沉积设备制造薄膜的方法
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