高温高压退火对碳化硅性能的影响

郑友进; 王丽娟; 王方标; 左桂鸿; 黄海亮

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高温高压退火对碳化硅性能的影响

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以CVD生产的碳化硅为原料在高温高压下进行退火处理,探究退火温度对碳化硅性能的影响。实验结果表明:随着退火温度的增加,碳化硅的颜色由浅绿色变为无色;体积有明显的缩小、密度增加;退火后碳化硅的抗压强度显著增强,机械强度有所增加;退火后的SiC结构并没有发生变化,15R-SiC在798.6 cm^(-1)处拉曼峰强度减少,4H-SiC在970 cm-1拉曼峰强度有所增强。

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来源
《人工晶体学报》 |2017年第10期|2073-2076|共4页
作者
郑友进; 王丽娟; 王方标; 左桂鸿; 黄海亮;
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作者单位

牡丹江师范学院;

黑龙江省新型碳基功能与超硬材料重点实验室;

牡丹江157011;

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正文语种 chi
中图分类结构;
关键词
碳化硅; 高温高压; 退火;

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