PCVD直流脉冲频率对TiN/TiSiN复合涂层结构与性能的影响

宋之敏; 曾天; 高见; 李洪林; 宿福利; 李祝

首页> 中文期刊> 《工具技术》 >PCVD直流脉冲频率对TiN/TiSiN复合涂层结构与性能的影响

PCVD直流脉冲频率对TiN/TiSiN复合涂层结构与性能的影响

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

为了探讨频率对硬质合金基体上TiN/TiSiN复合涂层组织结构及性能的影响,选择了几个不同频率来制备TiN/TiSiN复合涂层。研究结果表明:不同频率制备TiN/TiSiN复合涂层的表面形貌都呈圆盘状颗粒,频率在30kHz-70kHz变化时,复合涂层颗粒尺寸随频率的增加而增大,均匀性随频率的增加而变差;复合涂层频率在30kHz-70kHz变化时,TiN始终在(200)方向上择优取向;硬质合金基体上,TiN/TiSiN复合涂层比单一TiN涂层的硬度提高更大,从1973 HV0.05增加到3417 HV0.05;30kHz时TiN/TiSiN复合涂层的硬度、涂层结合力和耐磨性能明显优于其他两种TiN/TiSiN复合涂层。故在硬质合金基体上,30kHz制备的TiN/TiSiN复合涂层工艺最佳。

著录项

来源
《工具技术》 |2012年第12期|13-17|共5页
作者
宋之敏; 曾天; 高见; 李洪林; 宿福利; 李祝;
展开▼
作者单位

四川大学分析测试中心;

成都工具研究所有限公司;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类金属表面防护技术;
关键词
TiN; TiSiN涂层; 脉冲频率; 微观结构; 性能;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. PCVD直流脉冲沉积温度对TiN/TiSiN复合涂层高温氧化性能的影响 [J] . 宋之敏 ,曾天 ,韩纪梅 . 工具技术 . 2013,第12期
2. 混合气体比例对脉冲直流PCVD制备TiN/TiSiN涂层的影响 [J] . 吴春涛 ,周彤 ,曾祥才 . 工具技术 . 2015,第4期
3. PCVD-TiN,TiAlN及TiSiN涂层的抗高温氧化性能 [J] . 彭红瑞 ,石玉龙 ,谢雁 . 材料保护 . 1999,第1期
4. TiN/TiSiN复合涂层显微结构与力学性能研究 [J] . 宿福利 ,高见 ,李洪林 . 工具技术 . 2011,第12期
5. TiN/TiSiN复合涂层的耐磨性能研究 [J] . 谢春雨 ,何畏 ,徐彤 . 石油矿场机械 . 2008,第002期
6. TiN/C<,3>N<,4>复合涂层的显微结构特征及其与性能的关系 [C] . 熊学辉 ,余家头校区 ,傅强 . 湖北省物理学会·武汉物理学会成立70周年庆典暨2002年学术年会 . 2002
7. TiN基复合涂层制备工艺对组织结构及性能的影响 [A] . 李延彬 . 2018

PCVD直流脉冲频率对TiN/TiSiN复合涂层结构与性能的影响

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅