压电陶瓷微位移器压电响应性能的研究及压电误差的补偿

庄在龙; 胡小唐; 杨林

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压电陶瓷微位移器压电响应性能的研究及压电误差的补偿

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压电徽位移器具有很高的位移分辨力和频率响应，但也存在着具有迟滞、非线性和蠕变误差的压电误差的弱点。实验表明，压电微位移器的位移－电压之间遵从一个ｎ次多项式关系，蠕变与时间之间满足对数关系。基于对压电误差的实验数据和实验曲线，文中给出了软件补偿法来提高其位移重复性。为了彻底去除压电误差，文中同时设计了反馈控制系统。

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来源
《仪器仪表学报》 |1996年第s1期|355-358|共4页
作者
庄在龙; 胡小唐; 杨林;
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作者单位

天津大学;

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正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
压电误差; 微位移器; 压电陶瓷; 响应性能; 软件补偿法; 饱和电压; 目标点; 定位精度; 参考模型; 参考输入;

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