激光晶体炉上称重法自动直径控制(ADC)技术

董淑梅; 李言; 李留臣; 王庆; 楚波

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激光晶体炉上称重法自动直径控制(ADC)技术

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自动直径控制(ADC)技术是直拉法晶体生长设备的一项动直径控制方法,并从理论上分析了上称重法自动直径控制(ADC)原理,着重介绍了在传统TDL-J50A及TDL-J60激光晶体炉上自主开发的上称重法自动直径控制系统的机械结构及控制系统.使用上称重法自动直径控制系统已成功地生长出φ51～76mmYAG晶体及φ51～76mm铌酸锂晶体,取得了良好的控制效果.

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来源
《人工晶体学报》 |2005年第6期|1141-1145|共5页
作者
董淑梅; 李言; 李留臣; 王庆; 楚波;
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作者单位

西安理工大学晶体生长设备研究所;

西安理工大学机械与精密仪器工程学院;

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正文语种 chi
中图分类晶体生长;
关键词
激光晶体炉; 自动直径控制; 上称重法;

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