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AD7714在微材料力学性能测试中的应用

         

摘要

微材料力学性能测试是微机电系统设计制造过程中的重要环节,需要对低电平微弱信号进行高精度测量。应用平面三连杆机构和压电陶瓷实现精确的微位移和载荷的加载,采用低噪声高精度的∑-△型模数转换器AD7714,解决高精度测量的设计难题。分析AD7714的软硬件设计,总结AD7714的应用要点和系统的标定方法,为精确计量领域面临的高精度测量提供了有效解决途径。

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