基于微加工工艺的聚苯乙烯微针阵列研制

廖哲勋; 李以贵; 朱军

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基于微加工工艺的聚苯乙烯微针阵列研制

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提出了一种聚苯乙烯(PS)微针阵列的微细加工工艺,即利用紫外线光刻技术在光刻胶上得到与准LIGA(Lithograpie(光刻),Galvanoformung(电铸),Abformung(铸塑))掩膜板图形相似的曝光能量分布图,再利用显影和转写技术获得断面形状与掩膜板图形相似的PS微针阵列结构.为了解决微针载药的加工问题,通过设计4孔凹槽结构实现空心孔的微细加工,获得了高度为400μm的PS微针阵列.该阵列面积约为22.18cm2,微针数约为6 240根.实验结果显示,新方法加工高质量高密度带凹槽结构实心微针的效果非常好.

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来源
《上海交通大学学报》 |2012年第11期|1848-1851|共4页
作者
廖哲勋; 李以贵; 朱军;
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作者单位

上海交通大学微纳米技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类结构;
关键词
无痛化注射; 微针阵列; UV—LIGA工艺;

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