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何明; 李若虹; 王晓锐; 王谨; 詹明生;
中科院武汉物理与数学研究所波谱与原子分子国家重点实验室;
原子刻蚀; 激光驻波场; 量子力学数值模拟; 原子物理学; 失谐量;
机译:纳米图案结构等离子体刻蚀高效原子模拟的数值方法
机译:单原子Br〜+ / CI〜+束和双原子Br_2〜+ / CI_2〜+ / HBr〜+束刻蚀硅的数值研究
机译:“具有最小垂直钢筋的钢筋混凝土墙的数值模拟”更正[英文。结构。 143(2017)330-345]
机译:KOH湿法化学刻蚀硅原子尺度模拟的新趋势
机译:用于图案转移的高精度等离子刻蚀:基于碳氟化合物的原子层刻蚀
机译:在不同速度下精英道路骑自行车者的初步数值模拟初步数值模拟分析
机译:原子H刻蚀SiC表面的分子动力学模拟
机译:原子模拟的数值工具。
机译:使用能够对高介电材料使用BCl3气体和添加性气体进行原子层刻蚀的中空束刻蚀设备的原子层刻蚀方法
机译:二维电容耦合等离子体刻蚀的二维鞘层数值模拟方法及系统
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