基于ScAlN/FeGa结构的磁电声表面波谐振器

姜建利; 杨雪梅; 刘婉; 白飞明

首页> 中文期刊> 《压电与声光》 >基于ScAlN/FeGa结构的磁电声表面波谐振器

基于ScAlN/FeGa结构的磁电声表面波谐振器

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

该文研究基于磁致伸缩FeGa合金衬底的磁电声表面波(SAW)谐振器。首先,在FeGa磁致伸缩衬底上溅射沉积了ScAlN压电薄膜,完成了单端口声表面波谐振器的制备;其次,采用X线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)等手段对ScAlN薄膜进行结构分析;最后,采用矢量网络分析仪和微波探针台测试S参数和群时延。结果表明,ScAlN薄膜晶粒呈柱状生长且具有高度(002)取向,薄膜表面粗糙度在2.36nm左右;当ScAlN压电薄膜厚为0.7μm,波长为15.74μm时,SAW谐振器的谐振频率为218.75 MHz,相速度为3 443m/s,机电耦合系数为0.06%,与COMSOL仿真计算结果较吻合。

著录项

来源
《压电与声光》 |2019年第1期|4-8|共5页
作者
姜建利; 杨雪梅; 刘婉; 白飞明;
展开▼
作者单位

电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类声光器件;铁电及压电器件;
关键词
FeGa合金衬底; 磁致伸缩效应; ScAlN薄膜; 磁电效应; 声表面波谐振器;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 基于柔性衬底的磁声表面波谐振器 [J] . 刘婉 ,鲁亚巍 ,胡文彬 . 压电与声光 . 2020,第4期
2. 一种超磁致伸缩材料和声表面波谐振器构成的复合磁传感器 [J] . 郑敏 ,文玉梅 ,李平 . 传感技术学报 . 2007,第008期
3. FeGa／BTO／FeGa层状复合结构中的磁电效应 [J] . 王蕾 ,杜兆富 ,范崇飞 . 功能材料 . 2011,第B02期
4. FeGa/BTO/FeGa层状复合结构中的磁电效应 [J] . 王蕾 ,杜兆富 ,范崇飞 . 功能材料 . 2011,第0z1期
5. 基于频域相位信息的声表面波谐振器回波频率估计 [J] . 李亚飞 ,陈智军 ,朱卫俊 . 计量学报 . 2020,第007期
6. 应力调控磁致伸缩FeGa薄膜的磁各向异性 [C] . 代国红 ,刘宜伟 ,杨华礼 . 第十四届全国磁学和磁性材料学术会议暨第二届全国磁热效应材料和磁制冷技术学术研讨会 . 2011
7. 基于压电/磁致伸缩层状复合薄膜的磁电声表面波谐振器的研究 [A] . 杨雪梅 . 2017

基于ScAlN/FeGa结构的磁电声表面波谐振器

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅