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反射式高能电子衍射强度振荡的自动测量系统

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本文介绍一套测量反射式高能电子衍射强度振荡的简单而有效的系统,并以此对Si(111)衬底上同质外延Si时的RHEED强度振荡特性进行了观测。

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来源
《真空科学与技术学报》 |1990年第4期|265-268|共4页
作者
周铁城; 陈可明; 盛篪;
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作者单位

复旦大学表面物理实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TB7-55;
关键词
高能电子衍射; 自动测量系统; 反射式; 同质外延; 外延层; 分子束外延生长; 石英晶振; 象素点; HEED; 表面覆盖率;

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